三天后,北京。
某保密会议室,气氛凝重如铁。
沙瑞金呈报的《关于汉东省崇明科技突破38nm光刻机核心技术的紧急报告》被摆在长桌中央。
国防科工局、工信部、中科院、国家大基金负责人围坐一圈,人人面色肃然。
“47项底层核心专利……绕开ASML全部封锁节点……”
一位白发老者推了推眼镜,声音微颤:“这要是真的,中国芯片产业的历史,今天就要改写。”
会议仅持续西十分钟,结论却石破天惊:
一、列为国家最高级别科技机密(绝密·芯盾级);
二、成立“02专项·光刻机突击组”,由中科院院士牵头;
三、赵崇明所需一切资源——人才、设备、资金、政策——全国优先保障,汉东省委全力配合。
末了,一个大领导只说了一句:
“告诉那个年轻人——国家等这一天,等了三十年,这一次,我们将领先世界!”
……
……
汉东,南湖机场。
一架军用运输机悄然降落。
舱门打开,七位白发苍苍的老者鱼贯而出,身后跟着二十多名中青年学者,人人拎着笔记本电脑与厚重资料箱。
领头者是林振邦院士——华夏半导体物理奠基人之一,86岁,拄拐而行,眼神如炬;
其侧是周秉义教授——清华精密仪器系前主任,双工件台领域泰斗;
在旁是吴启明研究员——中科院光电所首席,浸没式光学系统权威。
他们首奔崇明科技总部,未作休整,径首来到了赵崇明的办公室。
赵崇明己在门口等候。
“你就是赵崇明?”
林振邦上下打量这个24岁的年轻人,语气不善:“听说你声称掌握了38nm浸没式光刻机全套技术?”
“是。”赵崇明平静回应。
虽然对方语气不善,但是,到底也是86岁的老大爷,而且,不夸张的说一句,这是真正的国士无双。
自己客气一点也是应该的。
林振邦问道:“你弄得这些专利,这些理论都是你弄出来的?”
“我自己也组建了一个团队!”赵崇明笑了笑。
“好!”
周秉义一步上前,语速如电,“我问你——双工件台在500mm/s高速运动下,如何抑制纳米级振动耦合?你的磁悬浮线圈布局是几极?反馈延迟多少纳秒?”
赵崇明不假思索:“六极Halbach阵列,主动阻尼+预测控制,延迟≤12ns。”
吴启明立刻接话:“浸没流体在晶圆边缘的Marangoni效应如何补偿?”
“动态密封环+局部温度梯度调控,附图见白皮书第38页。”
“光学像差校正用Zernike多项式到几阶?”
“36阶,实时迭代,每曝光场更新一次。”
七位老教授轮番发问,问题从材料热膨胀系数到激光脉冲时序,从真空腔体残余气体分析到洁净室气流组织——
整整三个小时,赵崇明对答如流,无一迟疑。
林振邦盯着他,震惊了。
这小子知道的东西也太杂了吧?
杂也就算了。
关键是,每一样都还是对答如流,很深入。
都可以给你延伸的往外聊。
光学,材料学,他都懂。
而且,都知道的很深入。
随便一门学科,这小子都能给你哪弄一个博士学位。
关键是……
资料上说,这小子才是硕士。
周振邦忽然颤声问:“孩子……这些知识,你从哪儿学的?”
赵崇明早有准备,微笑道:“我在美帝学习期间,我导师是ASML前首席架构师,私下给我看过一些非涉密设计文档。回国后,又花了一点时间反向推演、实验验证。”
身份也是系统给自己安排的。
至于自己为什么懂这么多。
也是系统强行灌顶。
差点没把赵崇明给折磨的死去活来。
这大半年的时间,赵德汉在汉东处理政务,赵崇明也没闲着,一首都在拉团队,申请专利版权,这也是弄得差不多了,才把光刻机拿出来。
倒是没想到,这帮老教授一过来,就对着自己开始三百六十五度无死角的狂轰乱炸。
这要不是系统把知识灌顶给了自己,他还真是没法回答。
但是,现在回答的多了,反倒是让这些老教授们傻眼了。
“天才啊!”
老教授们面面相觑,眼中的怀疑全部消失,更有难以抑制的狂喜。
这是绝对的天才。
瞬间,老教授们就把赵崇明归纳为同类。
钱老都说了,人再笨,还能学不会微积分吗?
随后,赵崇明带他们走进实验室,掀开防尘罩——
一台银灰色光刻机原型静静矗立,镜头组泛着幽蓝冷光。
“这是……工程样机?”周秉义声音发抖。
“是初代验证平台。”
赵崇明点头。
其实,系统给了他一个完整的,不过,现在这个阶段,赵崇明还是只能先弄一个不是那么完整的,先按照系统给的技术,一比一完完整整的复刻出来。
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